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摘 要:研究了在脈沖酸性電鍍銅工藝中，不同相對分子質(zhì)量的聚乙二醇及聚二硫二丙烷磺酸鈉的質(zhì)量濃度以及攪拌條件對微孔直徑為300μm，深徑比為7．3：1的通孔填充效果的影響。結(jié)果表明，隨著聚乙二醇相對分子質(zhì)量增大，通孔內(nèi)壁銅沉積的均勻性逐漸增大，當(dāng)聚乙二醇相對分子質(zhì)量為8000和12000時，通孔的均勻度達(dá)到90％以上；當(dāng)鍍液中聚二硫二丙烷磺酸鈉的質(zhì)量濃度為4～6mg／L、攪拌速率保持在700r／min時，通孔內(nèi)壁上可以鍍覆一層均勻的銅導(dǎo)電層。[著者文摘]
