摘 要:介紹了幾種電鍍金剛石線鋸的制造方法,并介紹了往復(fù)式和環(huán)形兩種金剛石線鋸切片方法的原理。對(duì)鋸切硅片時(shí)各工藝參數(shù)對(duì)切片表面質(zhì)量的影響規(guī)律進(jìn)行了理論研究。適當(dāng)提高鋸絲的張緊力,在一定的變化范圍內(nèi),采用高的鋸絲速度和低的進(jìn)給速度,可以獲得好的切片表面質(zhì)量。[著者文摘]
摘 要:介紹了幾種電鍍金剛石線鋸的制造方法,并介紹了往復(fù)式和環(huán)形兩種金剛石線鋸切片方法的原理。對(duì)鋸切硅片時(shí)各工藝參數(shù)對(duì)切片表面質(zhì)量的影響規(guī)律進(jìn)行了理論研究。適當(dāng)提高鋸絲的張緊力,在一定的變化范圍內(nèi),采用高的鋸絲速度和低的進(jìn)給速度,可以獲得好的切片表面質(zhì)量。[著者文摘]