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摘 要:綜述了十多年來(lái)國(guó)內(nèi)外激光誘導(dǎo)金屬沉積技術(shù)的最新發(fā)展，主要介紹了激光誘導(dǎo)液相化學(xué)沉積以及固態(tài)膜法激光直接鍍覆金屬技術(shù)的實(shí)驗(yàn)體系，機(jī)理，以及激光光束的特性，材料的光學(xué)特性與溫度特性對(duì)沉積過(guò)程的影響，并介紹了在微電子領(lǐng)域的應(yīng)用前景。
摘 要:綜述了十多年來(lái)國(guó)內(nèi)外激光誘導(dǎo)金屬沉積技術(shù)的最新發(fā)展，主要介紹了激光誘導(dǎo)液相化學(xué)沉積以及固態(tài)膜法激光直接鍍覆金屬技術(shù)的實(shí)驗(yàn)體系，機(jī)理，以及激光光束的特性，材料的光學(xué)特性與溫度特性對(duì)沉積過(guò)程的影響，并介紹了在微電子領(lǐng)域的應(yīng)用前景。
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