公開號(hào)       101994103

公開日       2011.03.30

申請人  中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所

地址  北京市海淀區(qū)中關(guān)村北一條2號(hào)

本發(fā)明屬于材料表面化學(xué)鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及在玻璃基底上制備釔摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電薄膜的光助溶膠–凝膠的制備方法。本發(fā)明采用光助溶膠–凝膠法和分層退火方式，以醋酸鋅和硝酸釔為原料，乙二醇獨(dú)甲醚為溶劑，乙醇胺為穩(wěn)定劑制備溶膠，通過調(diào)節(jié)釔的摻雜量，控制干燥和退火的溫度及時(shí)間，并采用紫外光照射來實(shí)現(xiàn)對釔摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電薄膜電學(xué)性質(zhì)的控制。本發(fā)明制備得到的釔摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電薄膜的電阻率為2.1 × 10⁻² ~ 8.1 × 10⁻² ?·cm，可見光區(qū)的透光率(含基底)為85%以上。并且薄膜是由六方纖鋅礦結(jié)構(gòu)的氧化鋅納米晶粒構(gòu)成，晶粒大小均勻，排列致密，晶粒具有c軸優(yōu)先生長取向。