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摘要： 針對磁電層合式磁傳感器Q值低的問題，提出一種磁性薄膜與石英音叉復合的磁傳感器結(jié)構(gòu)，通過檢測音叉諧振頻率變化量或Q值變化量，達到檢測靜磁場的目的。采用有限元方法對磁性薄膜的位置進行了設(shè)計和仿真，發(fā)現(xiàn)薄膜復合于音叉?zhèn)缺垌敳坑凶铎`敏的磁場探測能力，并進行了實驗驗證。實驗結(jié)果表明：敏感結(jié)構(gòu)在零偏置磁場時Q值為2000左右，在靜磁場作用下，諧振頻率最大靈敏度為9.233Hz/mT，Q值最大靈敏度為119.471/mT;諧振頻率分辨率為0.1Hz，石英音叉諧振頻率穩(wěn)定度為20ppm時，該結(jié)構(gòu)磁傳感器對磁場的分辨率為10-5T;Q值分辨率為1，石英音叉Q值穩(wěn)定度為20ppm時，該結(jié)構(gòu)磁傳感器對磁場的分辨率為10-6T，高于測量諧振頻率。即，測量Q值變化量來檢測磁場的方式更優(yōu)。
