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新型同軸磁控離子鍍設(shè)備及鍍層的研究

放大字體??縮小字體 發(fā)布日期:2012-12-07??瀏覽次數(shù):670 ??關(guān)注:加關(guān)注
核心提示:該設(shè)備適用于裝飾鍍膜(包括單一鍍膜和反應(yīng)性鍍膜),如:鍍銅、鋁、鈦、紫銅反應(yīng)膜和氮化鈦仿金鍍膜及碳化鈦黑色鍍膜等。該技術(shù)綜

該設(shè)備適用于裝飾鍍膜(包括單一鍍膜和反應(yīng)性鍍膜),如:鍍銅、鋁、鈦、紫銅反應(yīng)膜和氮化鈦仿金鍍膜及碳化鈦黑色鍍膜等。該技術(shù)綜合了三極濺射、磁控濺射和離子鍍?nèi)矫娴奶攸c,形成了低溫高速的磁控離子鍍裝置,特別是又引入了高負偏壓效應(yīng),使所獲膜層晶粒細小,組織致密,抗蝕性優(yōu)良、結(jié)合力強。工藝中可引入多種反應(yīng)源并發(fā)現(xiàn)通過C/N比的調(diào)節(jié)可獲得不同色調(diào)的裝飾膜層,輝光放電清洗充分被利用于某些類型工件的加工,并簡化了清洗預(yù)處理工藝,大大縮短了周期,提高了生產(chǎn)效率。新型黑色裝飾膜層的開發(fā)經(jīng)濟效益明顯,加工黑色膜的價格為原氦化鈦仿金鍍膜1~1.5倍,但加工成本并沒有提高。

完成單位:天津市熱處理工藝研究所

郵政編碼:300120

成果類別:應(yīng)用技術(shù)

成果水平:國內(nèi)先進

限制使用:國內(nèi)

成果密級:非密

鑒定日期:19900808

應(yīng)用行業(yè):金屬表面處理及熱處理加工

鑒定部門:天津市機械局

轉(zhuǎn)讓方式:培訓(xùn)人員、設(shè)備安裝、試鍍樣品

分類號:TG156.97

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