【標準號】JB/T 53021－1999

【標準簡介】

真空鍍膜設(shè)備 產(chǎn)品質(zhì)量分等（內(nèi)部使用） JB/T 53021－1999
中華人民共和國機械行業(yè)標準
本標準規(guī)定了真空鍍膜設(shè)備（以下簡稱產(chǎn)品）的質(zhì)量等級、檢驗規(guī)則和評定方法。
本標準適用于壓力在10–4~10–3 Pa 范圍的蒸發(fā)類、濺射類、離子鍍類真空鍍膜設(shè)備產(chǎn)品。

真空鍍膜設(shè)備 產(chǎn)品質(zhì)量分等（內(nèi)部使用） JB/T 53021－1999
中華人民共和國機械行業(yè)標準
本標準規(guī)定了真空鍍膜設(shè)備（以下簡稱產(chǎn)品）的質(zhì)量等級、檢驗規(guī)則和評定方法。
本標準適用于壓力在10–4~10–3 Pa 范圍的蒸發(fā)類、濺射類、離子鍍類真空鍍膜設(shè)備產(chǎn)品。

真空鍍膜設(shè)備產(chǎn)品質(zhì)量分等（內(nèi)部使用）JBT 53021-1999.pdf